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Microélectronique
Les microélectroniques et semi-conducteurs sont fabriqués et mesurés en nanomètres. Même la plus petite particule de poussière peut perturber le fonctionnement des circuits nano, ce qui rend la filtration HEPA et ULPA indispensable.
Les composants microélectroniques et les semi-conducteurs sont fabriqués et mesurés à l’échelle nanométrique. Sans filtration à haute efficacité, leur fabrication serait impossible : même la plus petite particule de poussière peut perturber leur fonctionnement.
La maîtrise de la contamination en microélectronique repose sur une chaîne de filtration à plusieurs étages :
- Filtres grossiers et fins en préfiltration dans les systèmes d’air neuf et de recirculation.
- Filtres HEPA et ULPA en étage final, pour capturer même les particules les plus petites et fournir un environnement exempt de contamination.
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