القطاعات
الميكروإلكترونيات
يتم تصنيع المكونات الإلكترونية الدقيقة وأشباه الموصلات وقياسها بالنانومتر. حتى أصغر جزيء غبار يمكن أن يعطل عمل الدوائر النانوية، مما يجعل مرشحات HEPA وULPA لا غنى عنها.
تُصنّع المكونات الإلكترونية الدقيقة وأشباه الموصلات وتُقاس على مقياس النانومتر. ومن دون ترشيح عالي الكفاءة، سيكون تصنيع هذه الدوائر النانوية مستحيلًا؛ فحتى أصغر ذرة غبار قد تعطل وظيفتها.
تعتمد مكافحة التلوث في الإلكترونيات الدقيقة على سلسلة ترشيح متعددة المراحل:
- مرشحات خشنة ودقيقة كمراحل أولية في أنظمة الهواء التعويضي وإعادة التدوير.
- مرشحات HEPA وULPA كمرحلة نهائية لالتقاط حتى أصغر الجسيمات وتوفير بيئة خالية من التلوث.